MOBILESEM・モバイルセムの各部名称
粗引き真空ポンプ
作業環境を考慮し、ダイアフラムポンプを採用しています。また耐久性に優れ、メンテナンスフリーです。
鏡筒部
電子顕微鏡本体部・フィラメント部は、プラグイン方式で簡単にフィラメント交換ができます。
ターボ分子ポンプ部
小型軽量・高性能なターボ分子ポンプです。
コントロール部
MOBILESEM本体の制御、及びPCへの接続などSEMのコントロール部です。SEMとの分離が可能であり、SEMの台座としても使用可能です。
ステージ部
試料ステージ部は、試料台と試料操作部の一体型です。投入した資料を手動でX/Y/Z+チルトで稼働させる事が可能です。
仕様・オプション
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